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 LODER 
 200mm LODER ARM 
 200mm SILCAP HEATER 
 AGB HEATER 
 YOKOGAWA FABUS F3LR01 
 YOKOGAWA DEVICENET I/F F3LD01 
 YOKOGAWA RS232 INTERFACE F3RZ82 
 YOKOGAWA RTOS CPU F3RP55 
 YOKOGAWA POWER SUPPLY UNIT F3PU36 
 ROBO 5000 BOX 
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